XMS100-S超性能線性位移臺具有動態性能，能夠在100 mm的行程范圍內持續、可靠地移動至1 nm。創新且緊湊；XM級在復雜的軌跡上支持魯棒的、可重復的運動，具有**的精度。XM性能采用精密設計的部件和設計，大限度地減少磨損和電機發熱，讓您的長期運動投資大化。XM-S位移臺是一種超高性能的解決方案，適用于激光加工、半導體晶片加工、傳感器測試和校準、超精密裝配以及其他具有高動態響應的掃描應用。XMS-S級生產線旨在與XPS-D控制器一起使用。